催化燃烧过程可分为三种：预热是催化燃烧过程的基本方式，当有机废气温度低于100且浓度较低时，热量不能自给自足，因此进入反应器前需要预热，房间是加热的。一般采用气体或电加热方式将废气加热到催化反应所需的着火温度;焚烧净化后的气体在换热器中与原废气进行热交换，回收部分热量。

有机废气温度高且有机物含量高。一般只需在催化燃烧反应器中设置电加热器，供启动时使用。部分洗涤气产生的热量通过换热器回收，在正常运行条件下可保持热平衡，不需要额外的热量。

当有机废气的流量大、浓度低、温度低、采用催化燃烧消耗大量燃料时，有机废气可被吸附在吸附剂通过吸附浓缩，再通过热风吹扫，使有机废气脱附成高浓度有机废气(可浓缩10倍以上)，然后进行催化燃烧。不需要额外的热源来维持正常运行。

催化燃烧设备主要由活性炭吸附箱、阻火器、换热器、催化反应床和风机组成。与直接燃烧相比，催化燃烧温度更低，焚烧更彻底。催化燃烧使用表面带有贵金属和金属氧化物的催化剂，在铂和钯催化剂的作用下，废气中的有机污染物可以在较低温度下氧化成二氧化碳和水。催化剂的加入不改变原来的化学平衡，只是改变化学反应的速率，反应前后催化剂本身的性质没有变化。

工艺催化燃烧设备。进入催化燃烧装置的气体首先进行预处理，去除灰尘、液滴和有害成分，防止催化床堵塞和催化剂中毒。只有当催化剂床中的气体温度达到所用催化剂的骤冷温度时，催化反应才能继续进行。因此，低于点火温度的进气被预热以达到点火温度。